Chemiluminescence during thermal chemical vapour deposition of SiO2 from silane-oxygen mixtures
Тип публикации: Journal Article
Дата публикации: 1988-12-01
scimago Q2
wos Q2
БС2
SJR: 0.546
CiteScore: 5.9
Impact factor: 3.1
ISSN: 00092614, 18734448
Physical and Theoretical Chemistry
General Physics and Astronomy
Краткое описание
During low-pressure chemical vapour deposition of SiO 2 from a thermally activated mixture of silane and oxygen, chemiluminescence is observed. It consists of a broad band extending from the UV throughout the visible part of the spectrum and a smaller signal at 310 nm. These signals are ascribed to molecular oxygen and OH radicals, respectively. Evidence is presented that these species are excited in a gas-phase process, possibly the collision-induced gas-phase reaction step Si+O 2 +O 2 /OH→SiO 2 +O* 2 /OH*.
Найдено
Ничего не найдено, попробуйте изменить настройки фильтра.
Для доступа к списку цитирований публикации необходимо авторизоваться.
Топ-30
Журналы
|
1
|
|
|
Chemical Physics
1 публикация, 8.33%
|
|
|
Mendeleev Communications
1 публикация, 8.33%
|
|
|
Journal of Applied Physics
1 публикация, 8.33%
|
|
|
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films
1 публикация, 8.33%
|
|
|
Journal of Quantitative Spectroscopy and Radiative Transfer
1 публикация, 8.33%
|
|
|
Plasma Chemistry and Plasma Processing
1 публикация, 8.33%
|
|
|
European Physical Journal D
1 публикация, 8.33%
|
|
|
Chemical Physics Letters
1 публикация, 8.33%
|
|
|
Progress in Energy and Combustion Science
1 публикация, 8.33%
|
|
|
1
|
Издатели
|
1
2
3
4
5
|
|
|
Elsevier
5 публикаций, 41.67%
|
|
|
AIP Publishing
2 публикации, 16.67%
|
|
|
Springer Nature
2 публикации, 16.67%
|
|
|
1
2
3
4
5
|
- Мы не учитываем публикации, у которых нет DOI.
- Статистика публикаций обновляется еженедельно.
Вы ученый?
Создайте профиль, чтобы получать персональные рекомендации коллег, конференций и новых статей.
Метрики
12
Всего цитирований:
12
Цитирований c 2025:
0
Цитировать
ГОСТ |
RIS |
BibTex |
MLA
Цитировать
ГОСТ
Скопировать
Van De Weijer P., Zwerver B. H., Suijker J. L. G. Chemiluminescence during thermal chemical vapour deposition of SiO2 from silane-oxygen mixtures // Chemical Physics Letters. 1988. Vol. 153. No. 1. pp. 33-38.
ГОСТ со всеми авторами (до 50)
Скопировать
Van De Weijer P., Zwerver B. H., Suijker J. L. G. Chemiluminescence during thermal chemical vapour deposition of SiO2 from silane-oxygen mixtures // Chemical Physics Letters. 1988. Vol. 153. No. 1. pp. 33-38.
Цитировать
RIS
Скопировать
TY - JOUR
DO - 10.1016/0009-2614(88)80128-3
UR - https://doi.org/10.1016/0009-2614(88)80128-3
TI - Chemiluminescence during thermal chemical vapour deposition of SiO2 from silane-oxygen mixtures
T2 - Chemical Physics Letters
AU - Van De Weijer, Peter
AU - Zwerver, Bauke H
AU - Suijker, Joseph L G
PY - 1988
DA - 1988/12/01
PB - Elsevier
SP - 33-38
IS - 1
VL - 153
SN - 0009-2614
SN - 1873-4448
ER -
Цитировать
BibTex (до 50 авторов)
Скопировать
@article{1988_Van De Weijer,
author = {Peter Van De Weijer and Bauke H Zwerver and Joseph L G Suijker},
title = {Chemiluminescence during thermal chemical vapour deposition of SiO2 from silane-oxygen mixtures},
journal = {Chemical Physics Letters},
year = {1988},
volume = {153},
publisher = {Elsevier},
month = {dec},
url = {https://doi.org/10.1016/0009-2614(88)80128-3},
number = {1},
pages = {33--38},
doi = {10.1016/0009-2614(88)80128-3}
}
Цитировать
MLA
Скопировать
Van De Weijer, Peter, et al. “Chemiluminescence during thermal chemical vapour deposition of SiO2 from silane-oxygen mixtures.” Chemical Physics Letters, vol. 153, no. 1, Dec. 1988, pp. 33-38. https://doi.org/10.1016/0009-2614(88)80128-3.