Titania-assisted electron-beam and synchrotron lithography
Тип публикации: Journal Article
Дата публикации: 2010-07-15
SCImago Q2
WOS Q3
БС1
SJR: 0.526
CiteScore: 5.9
Impact factor: 2.9
ISSN: 09574484, 13616528
PubMed ID:
20634573
General Chemistry
General Materials Science
Electrical and Electronic Engineering
Mechanical Engineering
Bioengineering
Mechanics of Materials
Краткое описание
Novel imaging layer technology for electron-beam and extreme-ultraviolet lithographic processes based upon generation of Pd nanoparticles in the Pd(2+)-loaded TiO(2) films was developed. The electroless metallization of the patterned TiO(2):Pd(2+) films yields both negative and positive nickel images with resolution down to approximately 100 nm.
Найдено
Ничего не найдено, попробуйте изменить настройки фильтра.
Для доступа к списку цитирований публикации необходимо авторизоваться.
Для доступа к списку профилей, цитирующих публикацию, необходимо авторизоваться.
Топ-30
Журналы
|
1
|
|
|
ACS applied materials & interfaces
1 публикация, 20%
|
|
|
Angewandte Chemie - International Edition
1 публикация, 20%
|
|
|
Advanced Materials Interfaces
1 публикация, 20%
|
|
|
Advanced Functional Materials
1 публикация, 20%
|
|
|
Angewandte Chemie
1 публикация, 20%
|
|
|
1
|
Издатели
|
1
2
3
4
|
|
|
Wiley
4 публикации, 80%
|
|
|
American Chemical Society (ACS)
1 публикация, 20%
|
|
|
1
2
3
4
|
- Мы не учитываем публикации, у которых нет DOI.
- Статистика публикаций обновляется еженедельно.
Вы ученый?
Создайте профиль, чтобы получать персональные рекомендации коллег, конференций и новых статей.
Войти с ORCID
Метрики
5
Всего цитирований:
5
Цитирований c 2025:
0
Цитировать
ГОСТ |
RIS |
BibTex |
MLA
Цитировать
ГОСТ
Скопировать
Sokolov V. G. et al. Titania-assisted electron-beam and synchrotron lithography // Nanotechnology. 2010. Vol. 21. No. 31. p. 315301.
ГОСТ со всеми авторами (до 50)
Скопировать
Skorb E. V., Grützmacher D., Dais C., Guzenko V. A., Sokolov V. N., Gaevskaya T. V., Sviridov D. V. Titania-assisted electron-beam and synchrotron lithography // Nanotechnology. 2010. Vol. 21. No. 31. p. 315301.
Цитировать
RIS
Скопировать
TY - JOUR
DO - 10.1088/0957-4484/21/31/315301
UR - https://doi.org/10.1088/0957-4484/21/31/315301
TI - Titania-assisted electron-beam and synchrotron lithography
T2 - Nanotechnology
AU - Skorb, Ekaterina V.
AU - Grützmacher, Detlev
AU - Dais, Christian
AU - Guzenko, Vitaliy A.
AU - Sokolov, V. N.
AU - Gaevskaya, Tatjana V
AU - Sviridov, D. V.
PY - 2010
DA - 2010/07/15
PB - IOP Publishing
SP - 315301
IS - 31
VL - 21
PMID - 20634573
SN - 0957-4484
SN - 1361-6528
ER -
Цитировать
BibTex (до 50 авторов)
Скопировать
@article{2010_Sokolov,
author = {Ekaterina V. Skorb and Detlev Grützmacher and Christian Dais and Vitaliy A. Guzenko and V. N. Sokolov and Tatjana V Gaevskaya and D. V. Sviridov},
title = {Titania-assisted electron-beam and synchrotron lithography},
journal = {Nanotechnology},
year = {2010},
volume = {21},
publisher = {IOP Publishing},
month = {jul},
url = {https://doi.org/10.1088/0957-4484/21/31/315301},
number = {31},
pages = {315301},
doi = {10.1088/0957-4484/21/31/315301}
}
Цитировать
MLA
Скопировать
Sokolov, Valeriy G., et al. “Titania-assisted electron-beam and synchrotron lithography.” Nanotechnology, vol. 21, no. 31, Jul. 2010, p. 315301. https://doi.org/10.1088/0957-4484/21/31/315301.
Лаборатории
Профили
Ошибка в публикации?