Materials Technologies Design
,  volume 5 ,  issue 4 (14) ,  pages 30-41

Осаждение тонких пленок твердого электролита LiPON в парогазовой среде (Li3PO4/Ar-N2), активируемой дугой низкого давления

Александр Сергеевич Каменецких
, 
Николай Васильевич Гаврилов
, 
Алексей Анатольевич Ершов
, 
Петр Васильевич Третников
Publication type: Journal Article
Publication date: 2023-12-12
SJR: —
CiteScore: —
Impact factor: —
ISSN: 26587572
Abstract

Тонкие пленки твердотельных литий-ионных электролитов перспективны для использованияв малогабаритных автономных источниках питания для элементов микро- и наноэлектроники.Высокая скорость вакуумно-плазменного синтеза (~0,5 мкм/ч) пленок фосфор-оксинитрида лития (LiPON) с ионной проводимостью ~2·10–6 (Ом·см)–1 обеспечивается методом анодногоиспарения Li3PO4 в дуге низкого давления. На микроструктуру и ионную проводимость пленокLiPON в значительной степени влияет доля свободного лития в потоке пара, которая регулируется изменением частоты взаимодействия электронов с испаряемыми частицами. В даннойработе представлены результаты исследования условий анодного испарения Li3PO4 в потокеэлектронов из плазмы разряда с самонакаливаемым полым катодом и влияния свободного лития в парогазовой смеси на свойства осаждаемых пленок LiPON.

Found 

Top-30

Journals

1
Russian Chemical Reviews
Russian Chemical Reviews, 1, 100%
Russian Chemical Reviews
1 publication, 100%
1
  • We do not take into account publications without a DOI.
  • Statistics recalculated weekly.

Are you a researcher?

Create a profile to get free access to personal recommendations for colleagues and new articles.
Metrics
1
Share
Cite this
GOST |
Cite this
GOST Copy
Каменецких А. С. et al. Осаждение тонких пленок твердого электролита LiPON в парогазовой среде (Li3PO4/Ar-N2), активируемой дугой низкого давления // Materials Technologies Design. 2023. Vol. 5. No. 4 (14). pp. 30-41.
GOST all authors (up to 50) Copy
Каменецких А. С., Гаврилов Н. В., Ершов А. А., Третников П. В. Осаждение тонких пленок твердого электролита LiPON в парогазовой среде (Li3PO4/Ar-N2), активируемой дугой низкого давления // Materials Technologies Design. 2023. Vol. 5. No. 4 (14). pp. 30-41.
RIS |
Cite this
RIS Copy
TY - JOUR
DO - 10.54708/26587572_2023_541430
UR - http://journal.ugatu.su/index.php/mtd/article/view/3702
TI - Осаждение тонких пленок твердого электролита LiPON в парогазовой среде (Li3PO4/Ar-N2), активируемой дугой низкого давления
T2 - Materials Technologies Design
AU - Каменецких, Александр Сергеевич
AU - Гаврилов, Николай Васильевич
AU - Ершов, Алексей Анатольевич
AU - Третников, Петр Васильевич
PY - 2023
DA - 2023/12/12
PB - Ufa University of Science and Technology
SP - 30-41
IS - 4 (14)
VL - 5
SN - 2658-7572
ER -
BibTex |
Cite this
BibTex (up to 50 authors) Copy
@article{2023_Каменецких,
author = {Александр Сергеевич Каменецких and Николай Васильевич Гаврилов and Алексей Анатольевич Ершов and Петр Васильевич Третников},
title = {Осаждение тонких пленок твердого электролита LiPON в парогазовой среде (Li3PO4/Ar-N2), активируемой дугой низкого давления},
journal = {Materials Technologies Design},
year = {2023},
volume = {5},
publisher = {Ufa University of Science and Technology},
month = {dec},
url = {http://journal.ugatu.su/index.php/mtd/article/view/3702},
number = {4 (14)},
pages = {30--41},
doi = {10.54708/26587572_2023_541430}
}
MLA
Cite this
MLA Copy
Каменецких, Александр Сергеевич, et al. “Осаждение тонких пленок твердого электролита LiPON в парогазовой среде (Li3PO4/Ar-N2), активируемой дугой низкого давления.” Materials Technologies Design, vol. 5, no. 4 (14), Dec. 2023, pp. 30-41. http://journal.ugatu.su/index.php/mtd/article/view/3702.