Materials Technologies Design
,  том 5 ,  издание 4 (14) ,  страницы 30-41

Осаждение тонких пленок твердого электролита LiPON в парогазовой среде (Li3PO4/Ar-N2), активируемой дугой низкого давления

Тип публикации: Journal Article
Дата публикации: 2023-12-12
БС3
SJR: —
CiteScore: —
Impact factor: —
ISSN: 26587572
Краткое описание

Тонкие пленки твердотельных литий-ионных электролитов перспективны для использованияв малогабаритных автономных источниках питания для элементов микро- и наноэлектроники.Высокая скорость вакуумно-плазменного синтеза (~0,5 мкм/ч) пленок фосфор-оксинитрида лития (LiPON) с ионной проводимостью ~2·10–6 (Ом·см)–1 обеспечивается методом анодногоиспарения Li3PO4 в дуге низкого давления. На микроструктуру и ионную проводимость пленокLiPON в значительной степени влияет доля свободного лития в потоке пара, которая регулируется изменением частоты взаимодействия электронов с испаряемыми частицами. В даннойработе представлены результаты исследования условий анодного испарения Li3PO4 в потокеэлектронов из плазмы разряда с самонакаливаемым полым катодом и влияния свободного лития в парогазовой смеси на свойства осаждаемых пленок LiPON.

Для доступа к списку цитирований публикации необходимо авторизоваться.
 Войти с ORCID

Топ-30

Журналы

1
Russian Chemical Reviews
Russian Chemical Reviews, 1, 100%
Russian Chemical Reviews
1 публикация, 100%
1

Издатели

1
Autonomous Non-profit Organization Editorial Board of the journal Uspekhi Khimii
Autonomous Non-profit Organization Editorial Board of the journal Uspekhi Khimii, 1, 100%
Autonomous Non-profit Organization Editorial Board of the journal Uspekhi Khimii
1 публикация, 100%
1
  • Мы не учитываем публикации, у которых нет DOI.
  • Статистика публикаций обновляется еженедельно.

Вы ученый?

Создайте профиль, чтобы получать персональные рекомендации коллег, конференций и новых статей.
 Войти с ORCID
Метрики
1
Поделиться
Цитировать
ГОСТ |
Цитировать
ГОСТ Скопировать
Каменецких А. С. et al. Осаждение тонких пленок твердого электролита LiPON в парогазовой среде (Li3PO4/Ar-N2), активируемой дугой низкого давления // Materials Technologies Design. 2023. Vol. 5. No. 4 (14). pp. 30-41.
ГОСТ со всеми авторами (до 50) Скопировать
Каменецких А. С., Гаврилов Н. В., Ершов А. А., Третников П. В. Осаждение тонких пленок твердого электролита LiPON в парогазовой среде (Li3PO4/Ar-N2), активируемой дугой низкого давления // Materials Technologies Design. 2023. Vol. 5. No. 4 (14). pp. 30-41.
RIS |
Цитировать
RIS Скопировать
TY - JOUR
DO - 10.54708/26587572_2023_541430
UR - http://journal.ugatu.su/index.php/mtd/article/view/3702
TI - Осаждение тонких пленок твердого электролита LiPON в парогазовой среде (Li3PO4/Ar-N2), активируемой дугой низкого давления
T2 - Materials Technologies Design
AU - Каменецких, Александр Сергеевич
AU - Гаврилов, Николай Васильевич
AU - Ершов, Алексей Анатольевич
AU - Третников, Петр Васильевич
PY - 2023
DA - 2023/12/12
PB - Ufa University of Science and Technology
SP - 30-41
IS - 4 (14)
VL - 5
SN - 2658-7572
ER -
BibTex |
Цитировать
BibTex (до 50 авторов) Скопировать
@article{2023_Каменецких,
author = {Александр Сергеевич Каменецких and Николай Васильевич Гаврилов and Алексей Анатольевич Ершов and Петр Васильевич Третников},
title = {Осаждение тонких пленок твердого электролита LiPON в парогазовой среде (Li3PO4/Ar-N2), активируемой дугой низкого давления},
journal = {Materials Technologies Design},
year = {2023},
volume = {5},
publisher = {Ufa University of Science and Technology},
month = {dec},
url = {http://journal.ugatu.su/index.php/mtd/article/view/3702},
number = {4 (14)},
pages = {30--41},
doi = {10.54708/26587572_2023_541430}
}
MLA
Цитировать
MLA Скопировать
Каменецких, Александр Сергеевич, et al. “Осаждение тонких пленок твердого электролита LiPON в парогазовой среде (Li3PO4/Ar-N2), активируемой дугой низкого давления.” Materials Technologies Design, vol. 5, no. 4 (14), Dec. 2023, pp. 30-41. http://journal.ugatu.su/index.php/mtd/article/view/3702.
Ошибка в публикации?