Экспериментально-технологическая лаборатория (лаборатория № 5)
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН
Разработка основ материаловедения и технологии элементной базы микросистемной техники, включая наноэлектронику и нанооптику, развитие методов технологии и разработка оборудования нанесения пленок и многослойных структур. Содержание проводимых исследований: Развитие методов технологии и разработка оборудования нанесения пленок и многослойных структур; Развитие технологии получения материалов электроники и микросистемной техники.
Материаловедение
Физика конденсированного состояния
Химическая технология
