Экспериментально-технологическая лаборатория (лаборатория № 5)
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН
Синтез перспективных материалов для микроэлектроники. Химические задачи и характеризация.
Материаловедение
Физика конденсированного состояния
Химическая технология
