Просвечивающий электронный микроскоп ThemisZ (FEI)

ThemisZ (Thermo Fisher Scientific, USA) c ускоряющим напряжением от 60 до 300 кВ и предельным разрешением 0.07 нм. Запись изображений осуществлялась с помощью ПЗС матрицы Ceta 16 (Thermo Fisher Scientific, USA). Прибор оснащен энергодисперсионным спектрометром рентгеновского характеристического излучения (EDX) SuperX (Thermo Fisher Scientific, USA) с полупроводниковым Si-детектором с разрешением по энергии 128 эВ.