Малогабаритный сканирующий электронный микроскоп SU1510 (Hitachi)

Позволяет проводить анализ поверхности определять размеры структурных элементов в проводящих и непроводящих образцах различной природы, для проведения исследований микро- и нано-структуры поверхности различных образцов. Позволяет изучать морфологию поверхности образца, проводить измерения размеров, формы, ориентации и других параметров микро- и нано-объектов в диапазоне размеров от нескольких сантиметров до 10 нанометров.

Разрешение 3 нм (глубокий вакуум) и 4 нм (при 270 Па)

Моторизованный столик образца с возможностью перемещения по 5 осям, наклоном образца от -20 до +90 градусов.

Можно исследовать образец диаметром до 153 мм.

Новый дизайн камеры образца оптимизирован для одновременной установки и использования EDS, WDS и EBSD детекторов.

Полная автоматизация всех функций (автоматическое насыщение катода, авто фокус, автоматическая регулировка луча по осям и другие).

Турбомолекулярный насос позволяет сократить время необходимое для замены образца до 90 секунд и делает ненужным водяной контур.