Сканирующий электронный микроскоп (СЭМ, SEM) Tescan MAIA 3 (Tescan, Чехия)
Модель MAIA3 2016 — это CЭМ сверхвысокого разрешения с превосходными возможностями визуализации во всем диапазоне энергий пучка.
EDX (AZtec, Oxford Instruments) приставка позволяет проводить также спектральный элементный анализ образцов.
(Тех. характеристики смотри в описании)
