Technical Physics Letters

, том 45 , издание 12 , страницы 1237-1240

Ion-Beam Deposition of Thin AlN Films on Al2O3 Substrate

Тип публикации: Journal Article

Дата публикации: 2019-12-01

Pleiades Publishing

Technical Physics Letters

scimago Q3

wos Q4

БС2

SJR: 0.215

CiteScore: 1.1

Impact factor: 0.9

ISSN: 10637850, 10906533, 17267471

DOI: 10.1134/S106378501912023X

Скопировать DOI

Physics and Astronomy (miscellaneous)

Краткое описание

Thin aluminum nitride (AlN) films on sapphire (Al2O3) substrates were grown by means of ion-beam deposition (IBD) and studied by methods of scanning electron microscopy, Raman scattering, and optical transmission spectroscopy. Results revealed the influence of IBD process parameters (gas mixture composition, ion beam energy, and substrate temperature) on the morphology, structure, and optical properties of obtained thin AlN films on sapphire.

Найдено

1 цитирование

Никулин Дмитрий

🤝

9 публикаций, 19 цитирований

Индекс Хирша: 3

Северо-Кавказский федеральный университет

Области научных интересов

Материаловедение

Наноматериалы

Полупроводниковые нанокристаллы

Физика полупроводников

1 цитирование

Девицкий Олег

🥼 🤝

к.т.н., доц.

40 публикаций, 49 цитирований, 87 рецензий

Индекс Хирша: 4

Северо-Кавказский федеральный университет

Южный научный центр РАН

Области научных интересов

III-V

Атомно-силовая микроскопия

Гетероструктуры

Солнечный ЭЛЕМЕНТ

Тонкие пленки

Топ-30

Журналы

	1
Journal Physics D: Applied Physics	Journal Physics D: Applied Physics, 1, 25% Journal Physics D: Applied Physics 1 публикация, 25%
Technical Physics Letters	Technical Physics Letters, 1, 25% Technical Physics Letters 1 публикация, 25%
Critical Reviews in Solid State and Materials Sciences	Critical Reviews in Solid State and Materials Sciences, 1, 25% Critical Reviews in Solid State and Materials Sciences 1 публикация, 25%
Solar Energy Materials and Solar Cells	Solar Energy Materials and Solar Cells, 1, 25% Solar Energy Materials and Solar Cells 1 публикация, 25%
	1

Издатели

	1
IOP Publishing	IOP Publishing, 1, 25% IOP Publishing 1 публикация, 25%
Pleiades Publishing	Pleiades Publishing, 1, 25% Pleiades Publishing 1 публикация, 25%
Taylor & Francis	Taylor & Francis, 1, 25% Taylor & Francis 1 публикация, 25%
Elsevier	Elsevier, 1, 25% Elsevier 1 публикация, 25%
	1

Мы не учитываем публикации, у которых нет DOI.
Статистика публикаций обновляется еженедельно.

Вы ученый?

Создайте профиль, чтобы получать персональные рекомендации коллег, конференций и новых статей.

Войти с ORCID

Метрики

Цитировать

ГОСТ |

Цитировать

ГОСТ Скопировать

Lunin L. S. L. S. et al. Ion-Beam Deposition of Thin AlN Films on Al2O3 Substrate // Technical Physics Letters. 2019. Vol. 45. No. 12. pp. 1237-1240.

ГОСТ со всеми авторами (до 50) Скопировать

Lunin L. S. L. S., Devitskii O. V., Sysoev I. A., Pashchenko A., Kasyanov I. V., Nikulin D. A., Irkha V. A. Ion-Beam Deposition of Thin AlN Films on Al2O3 Substrate // Technical Physics Letters. 2019. Vol. 45. No. 12. pp. 1237-1240.

RIS |

Цитировать

RIS Скопировать

TY - JOUR

DO - 10.1134/S106378501912023X

UR - https://doi.org/10.1134/S106378501912023X

TI - Ion-Beam Deposition of Thin AlN Films on Al2O3 Substrate

T2 - Technical Physics Letters

AU - Lunin L. S., L. S.

AU - Devitskii, O V

AU - Sysoev, I. A.

AU - Pashchenko, A.S.

AU - Kasyanov, I V

AU - Nikulin, D A

AU - Irkha, V A

PY - 2019

DA - 2019/12/01

PB - Pleiades Publishing

SP - 1237-1240

IS - 12

VL - 45

SN - 1063-7850

SN - 1090-6533

SN - 1726-7471

ER -

BibTex |

Цитировать

BibTex (до 50 авторов) Скопировать

@article{2019_Lunin L. S.,

author = {L. S. Lunin L. S. and O V Devitskii and I. A. Sysoev and A.S. Pashchenko and I V Kasyanov and D A Nikulin and V A Irkha},

title = {Ion-Beam Deposition of Thin AlN Films on Al2O3 Substrate},

journal = {Technical Physics Letters},

year = {2019},

volume = {45},

publisher = {Pleiades Publishing},

month = {dec},

url = {https://doi.org/10.1134/S106378501912023X},

number = {12},

pages = {1237--1240},

doi = {10.1134/S106378501912023X}

}

MLA

Цитировать

MLA Скопировать

Lunin L. S., L. S., et al. “Ion-Beam Deposition of Thin AlN Films on Al2O3 Substrate.” Technical Physics Letters, vol. 45, no. 12, Dec. 2019, pp. 1237-1240. https://doi.org/10.1134/S106378501912023X.