Растровый электронный микроскоп Tescan VEGA 3SBH (Чехия) с EDX приставкой

Растровый электронный микроскоп предназначен для исследований микроструктуры материалов в режиме регистрации вторичных электронов (рельеф) и обратно отраженных электронов (фазовый контраст). Оснащен детектором Inca X-Act (Oxford Instruments, Англия) для энерго-дисперсионного анализа (ЭДА) элементного состава материалов.

1)ускоряющее напряжение до 30 кВ; 2)увеличение до 1 000 000; 3)разрешение 3 нм; 4)разрешение детектора ЭДА 125 эВ; 5)точность определения весового содержания до 0.1 вес. %.