Полуавтоматическая установка четырехзондового измерения сопротивления Cresbox (Napson)

Установка оснащается автоматическим зондом и автоматизированным подложкодержателем. Загрузка подложек осуществляется вручную. Максимальный диаметр обрабатываемых пластин составляет 200 мм. Установка поставляется в комплекте с ПК и специализированным программным обеспечением для проведения измерений. Имеется функция картографирования пластины с заданием до 1225 точек (круглые, квадратные, произвольные карты), создания 2D/3D карт поверхности результатов измерений. Cresbox способна работать в разных режимах: плоские резы с известной толщиной (SLICE), удельное электрическое сопротивление (BULK), отношение V/I (электрическое сопротивление), поверхностное сопротивление (Sheet). Данное оборудование снабжено функцией автоматического изменения диапазона измерений, а также может самостоятельно проверять корректность работы. Для образцов из кремния есть возможность задать корректирование по параметрам температуры и толщины. Обширный диапазон рабочих материалов, практичный дизайн, простата эксплуатации, способность получать измерения по стандартам ASTM – все это делает возможным использование данного оборудования, как в научно-исследовательской сфере, так и при мелкосерийном производстве. Измеряемые материалы: Наноматериалы (углеродные нанотрубки, DLC, графен, серебряные нанопроволоки и т.д.) Полупроводники и материалы солнечных элементов (Si, poly-Si, SiC и т.д.) Тонкие проводящие пленки (металл, ITO, IZO т.д.) Легированные образцы, эпитаксиальные слоиответствии со стандартами ASTM (SEMI) Простота эксплуатации и практичный дизайн Возможность проведения работ с пластинами диаметром до 200 мм (опционально до 300 мм) Возможность проведения работ с прямоугольными и квадратными подложками Простота настройки измерений и возможно

Особенности: Возможность получать данные в соответствии со стандартами ASTM (SEMI); Простота эксплуатации и практичный дизайн; Возможность проведения работ с пластинами диаметром до 200 мм (опционально до 300 мм); Возможность проведения работ с прямоугольными и квадратными подложками; Простота настройки измерений и возможность построения 2D/3D карт сопротивления. Метод измерений: DC 4-point (ASTM F 84-99, ASTM F 390-11, ASTM F 374-00a, ASTM F 43, ASTM F 1529-97); Материал образца: Si, poly-Si, SiC, Ge, DLC, ITO, IGZO, GaAs Epi, GaN Epi, InP, Ga проводящие металлические пленки, карбоновые нанотрубки, легированные образцы, графен; Размер образца: Диаметр до 200 мм (300 мм опция); Прямоугольные подложки до 156х156 мм; Параметр толщины: до 2 мм; Интервал измерения удельного электрического сопротивления: 1 мкΩ∙см – 300 кΩ∙см; (для пластин толщиной до 2000 мкм) Интервал измерения поверхностного сопротивления: 5 мΩ/□ – 10 МΩ/□; Интервал измерения отношения V/I: 1 мΩ – 3 МΩ; Время измерения в одной точке: Не более 3 сек; Точность показаний: < 1%; Воспроизводимость измерений: ≤ 0,7%.