Лаборатория технологий 3D-печати функциональных микроструктур

В Проекте предлагается развитие аддитивных лазерных технологий нового поколения применительно к созданию фотонных устройств, в частности, с применением прямого (3+1)D письма, основанного на фемтосекундной двухфотонной фотополимеризации. Главной идеей данного подхода является возможность влияния на оптические и механические свойства материала 3D-структур как в процессе литографии, так и управления свойствами полученных оптических элементов за счет контроля внешних условий таких как: температура, электрические и магнитные поля. Таким образом, кроме трех пространственных координат, добавляется еще одна ключевая для оптических элементов независимая переменная - показатель преломления вещества.

Проект направлен на развитие аддитивной технологии создания фотонных интегральных схем (ФИС) и решение на базе данной технологии важнейшей проблемы квантовой фотоники - генерации одиночных фотонов с высокой степенью неразличимости. Фотонные интегральные схемы содержат множество оптически связанных между собой компонентов, изготовленных на одной подложке и совместно выполняющих разнообразные функции обработки оптических сигналов (в видимом или ближнем инфракрасном диапазонах длин волн).

В рамках данного Проекта предлагается решение проблемы создания объемных мастер-штампов для наноимпринт литографии с помощью использования технологии прямой лазерной печати. Такой подход позволяет создавать не только элементы сложной планарной топологии с размерами элементов до 150 нм, но и задавать объемный рельеф на поверхности подложек и чипов. Такое преимущество может позволить массово создавать пассивные фотонные и дифракционные элементы, массивы микролинз, элементы совмещения многослойных литографических процессов для микроэлектромеханических систем (МЭМС). В ходе Проекта предполагается реализация и исследование технологии НИЛ с DLW мастер-штампами, созданными на основе оригинальных фотокомпозиций, включающих акриловые мономеры с отечественными фотоинициаторами.