Journal of Micro/ Nanolithography, MEMS, and MOEMS

SPIE-Intl Soc Optical Eng
SPIE-Intl Soc Optical Eng
ISSN: 19325150, 19325134

Вы ученый?

Создайте профиль, чтобы получать персональные рекомендации коллег, конференций и новых статей.
 Войти с ORCID
Impact factor
2.3
SJR
0.393
CiteScore
3.4
Предметные категории
Mechanical Engineering
Atomic and Molecular Physics, and Optics
Condensed Matter Physics
Electrical and Electronic Engineering
Electronic, Optical and Magnetic Materials
Nanoscience and Nanotechnology
Предметные области
Engineering
Materials Science
Physics and Astronomy
Годы выпуска
2007-2023
Варианты названий
Journal of Micro/ Nanolithography, MEMS, and MOEMS
Публикаций
1 664
Цитирований
13 851
Индекс Хирша
42
Публикаций
0
Цитирований
5 098
Топ-3 цитирующих журналов
Optics Express
Optics Express (441 цитирование)
Топ-3 стран
США (364 публикации)
Китай (179 публикаций)
Япония (95 публикаций)

Наиболее цитируемые за 5 лет

Топ-100

Цитирующие журналы

100
200
300
400
500
600
700
800
900
Journal of Micro/ Nanolithography, MEMS, and MOEMS
873 цитирования, 6.3%
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
823 цитирования, 5.94%
Optics Express
441 цитирование, 3.18%
Journal of Vacuum Science and Technology B
401 цитирование, 2.9%
Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers & Short Notes
311 цитирований, 2.25%
Applied Optics
256 цитирований, 1.85%
Micromachines
239 цитирований, 1.73%
Microelectronic Engineering
194 цитирования, 1.4%
Journal of Micromechanics and Microengineering
181 цитирование, 1.31%
Journal of Micro/Nanopatterning Materials and Metrology
174 цитирования, 1.26%
Journal of Photopolymer Science and Technology
172 цитирования, 1.24%
ACS applied materials & interfaces
158 цитирований, 1.14%
Journal of Applied Physics
158 цитирований, 1.14%
Measurement Science and Technology
123 цитирования, 0.89%
Applied Physics Letters
120 цитирований, 0.87%
Nanotechnology
119 цитирований, 0.86%
Journal of Microelectromechanical Systems
115 цитирований, 0.83%
IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems
110 цитирований, 0.79%
Sensors and Actuators, A: Physical
107 цитирований, 0.77%
Microsystem Technologies
97 цитирований, 0.7%
Sensors
91 цитирование, 0.66%
IEEE Sensors Journal
89 цитирований, 0.64%
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
84 цитирования, 0.61%
Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena
74 цитирования, 0.53%
Scientific Reports
67 цитирований, 0.48%
Chemistry of Materials
65 цитирований, 0.47%
Journal of Materials Chemistry C
64 цитирования, 0.46%
ACS Nano
63 цитирования, 0.45%
Applied Sciences (Switzerland)
60 цитирований, 0.43%
Optics Letters
57 цитирований, 0.41%
Optics and Laser Technology
57 цитирований, 0.41%
Optical Engineering
57 цитирований, 0.41%
Applied Surface Science
56 цитирований, 0.4%
Journal Physics D: Applied Physics
52 цитирования, 0.38%
AIP Advances
51 цитирование, 0.37%
Optics and Lasers in Engineering
51 цитирование, 0.37%
Nanoscale
49 цитирований, 0.35%
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films
49 цитирований, 0.35%
Review of Scientific Instruments
49 цитирований, 0.35%
Macromolecules
47 цитирований, 0.34%
Optics Communications
47 цитирований, 0.34%
Nanomaterials
45 цитирований, 0.32%
Advanced Functional Materials
43 цитирования, 0.31%
Micro and Nano Engineering
42 цитирования, 0.3%
Journal of the Optical Society of America A: Optics and Image Science, and Vision
42 цитирования, 0.3%
Physics of Plasmas
41 цитирование, 0.3%
Photonics
41 цитирование, 0.3%
Polymers
39 цитирований, 0.28%
Physical Chemistry Chemical Physics
38 цитирований, 0.27%
Frontiers of Nanoscience
38 цитирований, 0.27%
Measurement: Journal of the International Measurement Confederation
36 цитирований, 0.26%
Advanced Materials
35 цитирований, 0.25%
IEEE Access
35 цитирований, 0.25%
Nano Letters
33 цитирования, 0.24%
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena
33 цитирования, 0.24%
Ultramicroscopy
31 цитирование, 0.22%
Thin Solid Films
31 цитирование, 0.22%
Microsystems and Nanoengineering
31 цитирование, 0.22%
Advanced Optical Technologies
30 цитирований, 0.22%
Langmuir
30 цитирований, 0.22%
IEEE Transactions on Electron Devices
30 цитирований, 0.22%
Materials
30 цитирований, 0.22%
Lab on a Chip
29 цитирований, 0.21%
Acta Physica Sinica
28 цитирований, 0.2%
Journal of Optics (United Kingdom)
28 цитирований, 0.2%
Applied Physics Express
26 цитирований, 0.19%
Chemical Reviews
25 цитирований, 0.18%
RSC Advances
24 цитирования, 0.17%
Smart Materials and Structures
24 цитирования, 0.17%
Small
24 цитирования, 0.17%
ACS Omega
24 цитирования, 0.17%
Sensors and Actuators, B: Chemical
24 цитирования, 0.17%
Journal of Physics: Conference Series
23 цитирования, 0.17%
IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement
23 цитирования, 0.17%
IEEE Photonics Journal
23 цитирования, 0.17%
IEEE Transactions on Nanotechnology
22 цитирования, 0.16%
Journal of Physical Chemistry C
22 цитирования, 0.16%
Vacuum
22 цитирования, 0.16%
Nature Electronics
22 цитирования, 0.16%
Precision Engineering
22 цитирования, 0.16%
Russian Microelectronics
22 цитирования, 0.16%
Advanced Materials Technologies
21 цитирование, 0.15%
ECS Journal of Solid State Science and Technology
21 цитирование, 0.15%
ACS Applied Nano Materials
20 цитирований, 0.14%
Nature Communications
20 цитирований, 0.14%
Advanced Optical Materials
19 цитирований, 0.14%
IEEE Photonics Technology Letters
19 цитирований, 0.14%
Optik
19 цитирований, 0.14%
Advanced Materials Research
19 цитирований, 0.14%
IEEE TRANSACTIONS ON COMPUTATIONAL IMAGING
19 цитирований, 0.14%
Microelectronics Reliability
18 цитирований, 0.13%
Microfluidics and Nanofluidics
18 цитирований, 0.13%
Applied Physics A: Materials Science and Processing
18 цитирований, 0.13%
International Journal of Extreme Manufacturing
18 цитирований, 0.13%
bioRxiv
18 цитирований, 0.13%
Microelectronics Journal
17 цитирований, 0.12%
Chinese Journal of Chemistry
17 цитирований, 0.12%
Materials Science in Semiconductor Processing
17 цитирований, 0.12%
Journal of Applied Crystallography
17 цитирований, 0.12%
Physics of Fluids
17 цитирований, 0.12%
100
200
300
400
500
600
700
800
900

Цитирующие издатели

500
1000
1500
2000
2500
SPIE-Intl Soc Optical Eng
2215 цитирований, 15.99%
Elsevier
1652 цитирования, 11.93%
Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
1475 цитирований, 10.65%
Springer Nature
892 цитирования, 6.44%
Optica Publishing Group
883 цитирования, 6.37%
IOP Publishing
799 цитирований, 5.77%
MDPI
679 цитирований, 4.9%
American Chemical Society (ACS)
657 цитирований, 4.74%
American Vacuum Society
551 цитирование, 3.98%
Wiley
522 цитирования, 3.77%
AIP Publishing
504 цитирования, 3.64%
Royal Society of Chemistry (RSC)
323 цитирования, 2.33%
Japan Society of Applied Physics
301 цитирование, 2.17%
The Technical Association of Photopolymers, Japan
159 цитирований, 1.15%
Taylor & Francis
98 цитирований, 0.71%
Pleiades Publishing
84 цитирования, 0.61%
Association for Computing Machinery (ACM)
81 цитирование, 0.58%
De Gruyter Brill
66 цитирований, 0.48%
American Physical Society (APS)
56 цитирований, 0.4%
Cambridge University Press
52 цитирования, 0.38%
Trans Tech Publications
48 цитирований, 0.35%
ASME International
34 цитирования, 0.25%
Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics
34 цитирования, 0.25%
Hindawi Limited
33 цитирования, 0.24%
Oxford University Press
32 цитирования, 0.23%
Frontiers Media S.A.
31 цитирование, 0.22%
The Electrochemical Society
31 цитирование, 0.22%
Acta Physica Sinica, Chinese Physical Society and Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences
28 цитирований, 0.2%
Institution of Engineering and Technology (IET)
24 цитирования, 0.17%
SAGE
22 цитирования, 0.16%
International Union of Crystallography (IUCr)
21 цитирование, 0.15%
openRxiv
20 цитирований, 0.14%
American Association for the Advancement of Science (AAAS)
18 цитирований, 0.13%
IntechOpen
18 цитирований, 0.13%
World Scientific
17 цитирований, 0.12%
15 цитирований, 0.11%
Science in China Press
15 цитирований, 0.11%
Emerald
13 цитирований, 0.09%
Beilstein-Institut
13 цитирований, 0.09%
Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)
13 цитирований, 0.09%
Zhejiang University Press
11 цитирований, 0.08%
Annual Reviews
10 цитирований, 0.07%
The Russian Academy of Sciences
8 цитирований, 0.06%
Korean Society of Mechanical Engineers
7 цитирований, 0.05%
The Royal Society
7 цитирований, 0.05%
Public Library of Science (PLoS)
7 цитирований, 0.05%
IGI Global
7 цитирований, 0.05%
EDP Sciences
6 цитирований, 0.04%
Japan Society of Mechanical Engineers
6 цитирований, 0.04%
Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences
6 цитирований, 0.04%
The Korean Society of Precision Engineering
6 цитирований, 0.04%
Japan Institute of Electronics Packaging
6 цитирований, 0.04%
Institute of Electronics, Information and Communications Engineers (IEICE)
6 цитирований, 0.04%
Laser Institute of America
5 цитирований, 0.04%
Tsinghua University Press
5 цитирований, 0.04%
Opto-Electronic Advances
5 цитирований, 0.04%
Keldysh Institute of Applied Mathematics
5 цитирований, 0.04%
Autonomous Non-profit Organization Editorial Board of the journal Uspekhi Khimii
5 цитирований, 0.04%
Bentham Science Publishers Ltd.
4 цитирования, 0.03%
4 цитирования, 0.03%
Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)
4 цитирования, 0.03%
Optical Society of India
4 цитирования, 0.03%
Uspekhi Fizicheskikh Nauk Journal
4 цитирования, 0.03%
Akademizdatcenter Nauka
4 цитирования, 0.03%
Cellule MathDoc/Centre Mersenne
4 цитирования, 0.03%
Proceedings of the National Academy of Sciences (PNAS)
3 цитирования, 0.02%
Mary Ann Liebert
3 цитирования, 0.02%
Fuji Technology Press
3 цитирования, 0.02%
The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
3 цитирования, 0.02%
Cold Spring Harbor Laboratory
3 цитирования, 0.02%
Brieflands
3 цитирования, 0.02%
Hans Publishers
3 цитирования, 0.02%
The Japan Society for Precision Engineering
3 цитирования, 0.02%
American Institute of Mathematical Sciences (AIMS)
2 цитирования, 0.01%
Acoustical Society of America (ASA)
2 цитирования, 0.01%
American Institute of Aeronautics and Astronautics (AIAA)
2 цитирования, 0.01%
Federal Informational-Analytical Center of the Defense Industry
2 цитирования, 0.01%
Information Processing Society of Japan
2 цитирования, 0.01%
Lviv Polytechnic National University
2 цитирования, 0.01%
Copernicus
2 цитирования, 0.01%
American Association of Physics Teachers (AAPT)
2 цитирования, 0.01%
National Academy of Sciences of Ukraine - Institute of Semiconductor Physics
2 цитирования, 0.01%
2 цитирования, 0.01%
Thomas Telford
2 цитирования, 0.01%
The Open Journal
2 цитирования, 0.01%
American Society for Photogrammetry and Remote Sensing
1 цитирование, 0.01%
IOS Press
1 цитирование, 0.01%
Ovid Technologies (Wolters Kluwer Health)
1 цитирование, 0.01%
Begell House
1 цитирование, 0.01%
Georg Thieme Verlag KG
1 цитирование, 0.01%
American Society for Microbiology
1 цитирование, 0.01%
Image Processing Systems Institute of RAS
1 цитирование, 0.01%
MIT Press
1 цитирование, 0.01%
Ivanovo State University of Chemistry and Technology
1 цитирование, 0.01%
Korean Society of Industrial Engineering Chemistry
1 цитирование, 0.01%
The Company of Biologists
1 цитирование, 0.01%
Pensoft Publishers
1 цитирование, 0.01%
Instrument Society of America
1 цитирование, 0.01%
Journal of Neurosurgery Publishing Group (JNSPG)
1 цитирование, 0.01%
Crop Science Society of Japan
1 цитирование, 0.01%
500
1000
1500
2000
2500

Публикующиеся организации

5
10
15
20
25
30
35
40
45
Тайваньская компания по производству полупроводников
42 публикации, 2.52%
Международный микроэлектронный научно-исследовательский центр
33 публикации, 1.98%
Национальный институт стандартов и технологий
22 публикации, 1.32%
Институт Пауля Шеррера
20 публикаций, 1.2%
Техасский университет в Остине
20 публикаций, 1.2%
Национальная лаборатория имени Лоуренса в Беркли
15 публикаций, 0.9%
Лёвенский католический университет
13 публикаций, 0.78%
Samsung
12 публикаций, 0.72%
Институт микроэлектроники, Китайская академия наук
11 публикаций, 0.66%
Центральный научно-исследовательский институт электроники
10 публикаций, 0.6%
Даляньский технологический университет
10 публикаций, 0.6%
Институт Фраунгофера по интегрированным системам и технологиям устройств
10 публикаций, 0.6%
Toshiba Corporation
10 публикаций, 0.6%
Шанхайский институт оптики и точной механики, Китайская академия наук
10 публикаций, 0.6%
Национальный университет Цинхуа
9 публикаций, 0.54%
Технологический институт Джорджии
9 публикаций, 0.54%
Политехнический институт Государственного университета Нью-Йорка
9 публикаций, 0.54%
Университет Китайской академии наук
8 публикаций, 0.48%
Национальный университет Ченг Кунг
8 публикаций, 0.48%
Техасский университет A&M
8 публикаций, 0.48%
Федеральная политехническая школа Лозанны
7 публикаций, 0.42%
Делфтский технический университет
7 публикаций, 0.42%
Университет Ханьян
7 публикаций, 0.42%
Калифорнийский университет в Беркли
7 публикаций, 0.42%
Рочестерский технологический институт
7 публикаций, 0.42%
Пекинский технологический институт
6 публикаций, 0.36%
Университет Твенте
6 публикаций, 0.36%
Национальный университет Сунь Ятсена
6 публикаций, 0.36%
Национальный университет Тайваня
6 публикаций, 0.36%
Национальный центральный университет
6 публикаций, 0.36%
Китайский университет Гонконга
6 публикаций, 0.36%
Чикагский университет
6 публикаций, 0.36%
Осакский университет
6 публикаций, 0.36%
Хуачжунский университет науки и технологии
5 публикаций, 0.3%
Бирмингемский университет
5 публикаций, 0.3%
Национальный центр научных исследований «Демокрит»
5 публикаций, 0.3%
Иллинойсский университет в Урбане-Шампейне
5 публикаций, 0.3%
Институт прикладной оптики и точной инженерии им. Фраунгофера
5 публикаций, 0.3%
Университет штата Монтана
5 публикаций, 0.3%
Исследовательский центр Уотсона
5 публикаций, 0.3%
Академия научных и инновационных исследований
5 публикаций, 0.3%
Индийский технологический институт в Мадрасе
4 публикации, 0.24%
Университет Цинхуа
4 публикации, 0.24%
Пекинский университет
4 публикации, 0.24%
Автономный университет Барселоны
4 публикации, 0.24%
Массачусетский технологический институт
4 публикации, 0.24%
Корнеллский университет
4 публикации, 0.24%
Стэнфордский университет
4 публикации, 0.24%
Университет Ёнсе
4 публикации, 0.24%
Йенский университет имени Фридриха Шиллера
4 публикации, 0.24%
Университет Тохоку
4 публикации, 0.24%
Технический университет Ильменау
4 публикации, 0.24%
Токийский университет
4 публикации, 0.24%
Институт микроэлектроники Барселоны
4 публикации, 0.24%
Университет имени Бригама Янга
4 публикации, 0.24%
Институт физики микроструктур РАН
3 публикации, 0.18%
Индийский научный институт
3 публикации, 0.18%
Тебризский университет
3 публикации, 0.18%
Индийский институт технологии в Харагпуре
3 публикации, 0.18%
Фуданьский университет
3 публикации, 0.18%
Технологический институт Карлсруэ
3 публикации, 0.18%
Университет Гренобль-Альпы
3 публикации, 0.18%
Технический научный центр Финляндии
3 публикации, 0.18%
Университет Фэн Цзя
3 публикации, 0.18%
Аргоннская национальная лаборатория
3 публикации, 0.18%
Бостонский университет
3 публикации, 0.18%
Национальный институт передовых промышленных наук и технологий
3 публикации, 0.18%
Оборонный научно-технический университет Народно-освободительной армии Китая
3 публикации, 0.18%
Институт лазерной техники им. Фраунгофера
3 публикации, 0.18%
Рейнско-Вестфальский технический университет Ахена
3 публикации, 0.18%
Фрайбургский университет имени Альберта и Людвига
3 публикации, 0.18%
Университет Эрлангена — Нюрнберга
3 публикации, 0.18%
Лейденский университет
3 публикации, 0.18%
Физико-технический федеральный институт
3 публикации, 0.18%
Штутгартский университет
3 публикации, 0.18%
Университет Висконсин в Мадисоне
3 публикации, 0.18%
Университет Васэда
3 публикации, 0.18%
Университет Айн-Шамс
3 публикации, 0.18%
Koninklijke Philips N.V. (Филипс)
3 публикации, 0.18%
Пенсильванский университет
3 публикации, 0.18%
Университет Альберты
3 публикации, 0.18%
Университет Манитобы
3 публикации, 0.18%
Институт Нееля
3 публикации, 0.18%
Дейтонский университет
3 публикации, 0.18%
Университет Олбани, Государственный университет Нью-Йорка
3 публикации, 0.18%
Научно-технологический университет имени короля Абдаллы
2 публикации, 0.12%
Технологический университет имени Шарифа
2 публикации, 0.12%
Индийский институт технологии в Канпуре
2 публикации, 0.12%
Индийский институт технологии в Гандинагаре
2 публикации, 0.12%
Малавийский национальный технологический институт в Джайпуре
2 публикации, 0.12%
Шанхайский университет Цзяотун
2 публикации, 0.12%
Харбинский политехнический университет
2 публикации, 0.12%
Университет им. Бен-Гуриона
2 публикации, 0.12%
Университет электронных наук и технологий Китая
2 публикации, 0.12%
Научный Университет Малайзии
2 публикации, 0.12%
Индийская организация космических исследований
2 публикации, 0.12%
Университет Курукшетра
2 публикации, 0.12%
Юго-Восточный университет
2 публикации, 0.12%
Швейцарская высшая техническая школа Цюриха
2 публикации, 0.12%
Университет Нового Южного Уэльса
2 публикации, 0.12%
5
10
15
20
25
30
35
40
45

Публикующиеся страны

50
100
150
200
250
300
350
400
США, 364, 21.88%
США
364 публикации, 21.88%
Китай, 179, 10.76%
Китай
179 публикаций, 10.76%
Япония, 95, 5.71%
Япония
95 публикаций, 5.71%
Германия, 76, 4.57%
Германия
76 публикаций, 4.57%
Бельгия, 43, 2.58%
Бельгия
43 публикации, 2.58%
Нидерланды, 42, 2.52%
Нидерланды
42 публикации, 2.52%
Республика Корея, 40, 2.4%
Республика Корея
40 публикаций, 2.4%
Индия, 34, 2.04%
Индия
34 публикации, 2.04%
Швейцария, 33, 1.98%
Швейцария
33 публикации, 1.98%
Франция, 23, 1.38%
Франция
23 публикации, 1.38%
Израиль, 15, 0.9%
Израиль
15 публикаций, 0.9%
Канада, 13, 0.78%
Канада
13 публикаций, 0.78%
Иран, 10, 0.6%
Иран
10 публикаций, 0.6%
Россия, 9, 0.54%
Россия
9 публикаций, 0.54%
Великобритания, 9, 0.54%
Великобритания
9 публикаций, 0.54%
Испания, 7, 0.42%
Испания
7 публикаций, 0.42%
Греция, 6, 0.36%
Греция
6 публикаций, 0.36%
Египет, 6, 0.36%
Египет
6 публикаций, 0.36%
Италия, 5, 0.3%
Италия
5 публикаций, 0.3%
Малайзия, 5, 0.3%
Малайзия
5 публикаций, 0.3%
Австралия, 4, 0.24%
Австралия
4 публикации, 0.24%
Австрия, 4, 0.24%
Австрия
4 публикации, 0.24%
Ирландия, 4, 0.24%
Ирландия
4 публикации, 0.24%
Мексика, 4, 0.24%
Мексика
4 публикации, 0.24%
Сингапур, 4, 0.24%
Сингапур
4 публикации, 0.24%
Финляндия, 4, 0.24%
Финляндия
4 публикации, 0.24%
Бразилия, 3, 0.18%
Бразилия
3 публикации, 0.18%
Новая Зеландия, 2, 0.12%
Новая Зеландия
2 публикации, 0.12%
ОАЭ, 2, 0.12%
ОАЭ
2 публикации, 0.12%
Румыния, 2, 0.12%
Румыния
2 публикации, 0.12%
Саудовская Аравия, 2, 0.12%
Саудовская Аравия
2 публикации, 0.12%
Армения, 1, 0.06%
Армения
1 публикация, 0.06%
Дания, 1, 0.06%
Дания
1 публикация, 0.06%
Ирак, 1, 0.06%
Ирак
1 публикация, 0.06%
Колумбия, 1, 0.06%
Колумбия
1 публикация, 0.06%
Латвия, 1, 0.06%
Латвия
1 публикация, 0.06%
Литва, 1, 0.06%
Литва
1 публикация, 0.06%
Норвегия, 1, 0.06%
Норвегия
1 публикация, 0.06%
Пакистан, 1, 0.06%
Пакистан
1 публикация, 0.06%
Польша, 1, 0.06%
Польша
1 публикация, 0.06%
Таиланд, 1, 0.06%
Таиланд
1 публикация, 0.06%
Турция, 1, 0.06%
Турция
1 публикация, 0.06%
Чехия, 1, 0.06%
Чехия
1 публикация, 0.06%
Швеция, 1, 0.06%
Швеция
1 публикация, 0.06%
ЮАР, 1, 0.06%
ЮАР
1 публикация, 0.06%
50
100
150
200
250
300
350
400