Journal of Micro/ Nanolithography, MEMS, and MOEMS

SPIE-Intl Soc Optical Eng
SPIE-Intl Soc Optical Eng
ISSN: 19325150, 19325134

Вы ученый?

Создайте профиль, чтобы получать персональные рекомендации коллег, конференций и новых статей.
Предметные категории
Mechanical Engineering
Atomic and Molecular Physics, and Optics
Condensed Matter Physics
Electrical and Electronic Engineering
Electronic, Optical and Magnetic Materials
Nanoscience and Nanotechnology
Предметные области
Engineering
Materials Science
Physics and Astronomy
Годы выпуска
2007-2023
Варианты названий
Journal of Micro/ Nanolithography, MEMS, and MOEMS
Публикаций
1 664
Цитирований
12 907
Индекс Хирша
40
Публикаций
30
Цитирований
5 020
Топ-3 цитирующих журналов
Optics Express
Optics Express (411 цитирований)
Топ-3 стран
США (364 публикации)
Китай (179 публикаций)
Япония (95 публикаций)
Топ-3 учёных по количеству статей

Наиболее цитируемые за 5 лет

Найдено 
Найдено 

Топ-100

Цитирующие журналы

100
200
300
400
500
600
700
800
900
Journal of Micro/ Nanolithography, MEMS, and MOEMS
873 цитирования, 6.76%
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
823 цитирования, 6.38%
Optics Express
411 цитирований, 3.18%
Journal of Vacuum Science and Technology B
393 цитирования, 3.04%
Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers & Short Notes
290 цитирований, 2.25%
Applied Optics
240 цитирований, 1.86%
Micromachines
208 цитирований, 1.61%
Microelectronic Engineering
191 цитирование, 1.48%
Journal of Micromechanics and Microengineering
178 цитирований, 1.38%
Journal of Micro/Nanopatterning Materials and Metrology
174 цитирования, 1.35%
Journal of Photopolymer Science and Technology
160 цитирований, 1.24%
Journal of Applied Physics
154 цитирования, 1.19%
ACS applied materials & interfaces
141 цитирование, 1.09%
Measurement Science and Technology
121 цитирование, 0.94%
Nanotechnology
119 цитирований, 0.92%
Applied Physics Letters
114 цитирований, 0.88%
Journal of Microelectromechanical Systems
113 цитирований, 0.88%
Sensors and Actuators, A: Physical
103 цитирования, 0.8%
IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems
102 цитирования, 0.79%
Microsystem Technologies
93 цитирования, 0.72%
Sensors
88 цитирований, 0.68%
IEEE Sensors Journal
86 цитирований, 0.67%
Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena
74 цитирования, 0.57%
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
68 цитирований, 0.53%
ACS Nano
59 цитирований, 0.46%
Scientific Reports
59 цитирований, 0.46%
Optical Engineering
57 цитирований, 0.44%
Applied Sciences (Switzerland)
55 цитирований, 0.43%
Optics Letters
54 цитирования, 0.42%
Journal of Materials Chemistry C
54 цитирования, 0.42%
AIP Advances
51 цитирование, 0.4%
Journal Physics D: Applied Physics
51 цитирование, 0.4%
Applied Surface Science
50 цитирований, 0.39%
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films
48 цитирований, 0.37%
Chemistry of Materials
48 цитирований, 0.37%
Macromolecules
45 цитирований, 0.35%
Optics and Lasers in Engineering
44 цитирования, 0.34%
Optics Communications
44 цитирования, 0.34%
Nanomaterials
43 цитирования, 0.33%
Review of Scientific Instruments
43 цитирования, 0.33%
Optics and Laser Technology
42 цитирования, 0.33%
Nanoscale
40 цитирований, 0.31%
Photonics
40 цитирований, 0.31%
Journal of the Optical Society of America A: Optics and Image Science, and Vision
39 цитирований, 0.3%
Advanced Functional Materials
38 цитирований, 0.29%
Micro and Nano Engineering
37 цитирований, 0.29%
Polymers
37 цитирований, 0.29%
Frontiers of Nanoscience
37 цитирований, 0.29%
Physical Chemistry Chemical Physics
36 цитирований, 0.28%
Physics of Plasmas
35 цитирований, 0.27%
Nano Letters
33 цитирования, 0.26%
Advanced Materials
33 цитирования, 0.26%
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena
33 цитирования, 0.26%
IEEE Access
32 цитирования, 0.25%
Advanced Optical Technologies
30 цитирований, 0.23%
Thin Solid Films
30 цитирований, 0.23%
Materials
30 цитирований, 0.23%
Ultramicroscopy
29 цитирований, 0.22%
Lab on a Chip
28 цитирований, 0.22%
Acta Physica Sinica
28 цитирований, 0.22%
Langmuir
28 цитирований, 0.22%
Journal of Optics (United Kingdom)
28 цитирований, 0.22%
Microsystems and Nanoengineering
27 цитирований, 0.21%
IEEE Transactions on Electron Devices
27 цитирований, 0.21%
Applied Physics Express
26 цитирований, 0.2%
RSC Advances
24 цитирования, 0.19%
Smart Materials and Structures
23 цитирования, 0.18%
ACS Omega
23 цитирования, 0.18%
IEEE Transactions on Nanotechnology
22 цитирования, 0.17%
Journal of Physics: Conference Series
22 цитирования, 0.17%
Small
22 цитирования, 0.17%
Nature Electronics
22 цитирования, 0.17%
Sensors and Actuators, B: Chemical
22 цитирования, 0.17%
Journal of Physical Chemistry C
21 цитирование, 0.16%
ECS Journal of Solid State Science and Technology
21 цитирование, 0.16%
IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement
21 цитирование, 0.16%
Russian Microelectronics
21 цитирование, 0.16%
IEEE Photonics Journal
20 цитирований, 0.15%
Advanced Optical Materials
19 цитирований, 0.15%
Precision Engineering
19 цитирований, 0.15%
Advanced Materials Research
19 цитирований, 0.15%
Measurement: Journal of the International Measurement Confederation
18 цитирований, 0.14%
Microelectronics Reliability
18 цитирований, 0.14%
Nature Communications
18 цитирований, 0.14%
IEEE Photonics Technology Letters
18 цитирований, 0.14%
Microfluidics and Nanofluidics
18 цитирований, 0.14%
Applied Physics A: Materials Science and Processing
18 цитирований, 0.14%
Optik
18 цитирований, 0.14%
Advanced Materials Technologies
17 цитирований, 0.13%
ACS Applied Nano Materials
17 цитирований, 0.13%
Advanced Materials Interfaces
17 цитирований, 0.13%
Journal of the Optical Society of America B: Optical Physics
17 цитирований, 0.13%
International Journal of Extreme Manufacturing
17 цитирований, 0.13%
IEEE TRANSACTIONS ON COMPUTATIONAL IMAGING
16 цитирований, 0.12%
Micro and Nano Letters
15 цитирований, 0.12%
Journal of Applied Crystallography
15 цитирований, 0.12%
ACS Photonics
15 цитирований, 0.12%
Physical Review Applied
15 цитирований, 0.12%
Science advances
15 цитирований, 0.12%
Microelectronics Journal
14 цитирований, 0.11%
100
200
300
400
500
600
700
800
900

Цитирующие издатели

500
1000
1500
2000
2500
SPIE-Intl Soc Optical Eng
2215 цитирований, 17.16%
Elsevier
1430 цитирований, 11.08%
Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
1298 цитирований, 10.06%
Optica Publishing Group
823 цитирования, 6.38%
Springer Nature
816 цитирований, 6.32%
IOP Publishing
750 цитирований, 5.81%
MDPI
609 цитирований, 4.72%
American Chemical Society (ACS)
565 цитирований, 4.38%
American Vacuum Society
541 цитирование, 4.19%
AIP Publishing
474 цитирования, 3.67%
Wiley
452 цитирования, 3.5%
Japan Society of Applied Physics
301 цитирование, 2.33%
Royal Society of Chemistry (RSC)
297 цитирований, 2.3%
The Technical Association of Photopolymers, Japan
143 цитирования, 1.11%
Taylor & Francis
92 цитирования, 0.71%
Pleiades Publishing
78 цитирований, 0.6%
Association for Computing Machinery (ACM)
61 цитирование, 0.47%
Walter de Gruyter
60 цитирований, 0.46%
American Physical Society (APS)
53 цитирования, 0.41%
Trans Tech Publications
46 цитирований, 0.36%
ASME International
33 цитирования, 0.26%
Hindawi Limited
32 цитирования, 0.25%
The Electrochemical Society
31 цитирование, 0.24%
Frontiers Media S.A.
28 цитирований, 0.22%
Acta Physica Sinica, Chinese Physical Society and Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences
28 цитирований, 0.22%
Oxford University Press
27 цитирований, 0.21%
Cambridge University Press
23 цитирования, 0.18%
Institution of Engineering and Technology (IET)
23 цитирования, 0.18%
Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics
22 цитирования, 0.17%
SAGE
21 цитирование, 0.16%
19 цитирований, 0.15%
International Union of Crystallography (IUCr)
19 цитирований, 0.15%
World Scientific
17 цитирований, 0.13%
American Association for the Advancement of Science (AAAS)
17 цитирований, 0.13%
IntechOpen
15 цитирований, 0.12%
Beilstein-Institut
13 цитирований, 0.1%
Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)
13 цитирований, 0.1%
Emerald
11 цитирований, 0.09%
Cold Spring Harbor Laboratory
11 цитирований, 0.09%
Science in China Press
10 цитирований, 0.08%
Annual Reviews
10 цитирований, 0.08%
Zhejiang University Press
9 цитирований, 0.07%
The Russian Academy of Sciences
8 цитирований, 0.06%
The Royal Society
7 цитирований, 0.05%
Public Library of Science (PLoS)
7 цитирований, 0.05%
IGI Global
7 цитирований, 0.05%
EDP Sciences
6 цитирований, 0.05%
Korean Society of Mechanical Engineers
6 цитирований, 0.05%
Japan Society of Mechanical Engineers
6 цитирований, 0.05%
Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences
6 цитирований, 0.05%
The Korean Society of Precision Engineering
6 цитирований, 0.05%
Institute of Electronics, Information and Communications Engineers (IEICE)
6 цитирований, 0.05%
Opto-Electronic Advances
5 цитирований, 0.04%
Keldysh Institute of Applied Mathematics
5 цитирований, 0.04%
Bentham Science Publishers Ltd.
4 цитирования, 0.03%
4 цитирования, 0.03%
Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)
4 цитирования, 0.03%
Laser Institute of America
4 цитирования, 0.03%
Optical Society of India
4 цитирования, 0.03%
Uspekhi Fizicheskikh Nauk Journal
4 цитирования, 0.03%
Japan Institute of Electronics Packaging
4 цитирования, 0.03%
Mary Ann Liebert
3 цитирования, 0.02%
Fuji Technology Press
3 цитирования, 0.02%
Tsinghua University Press
3 цитирования, 0.02%
The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
3 цитирования, 0.02%
Akademizdatcenter Nauka
3 цитирования, 0.02%
Hans Publishers
3 цитирования, 0.02%
The Japan Society for Precision Engineering
3 цитирования, 0.02%
Proceedings of the National Academy of Sciences (PNAS)
2 цитирования, 0.02%
American Institute of Mathematical Sciences (AIMS)
2 цитирования, 0.02%
American Institute of Aeronautics and Astronautics (AIAA)
2 цитирования, 0.02%
Federal Informational-Analytical Center of the Defense Industry
2 цитирования, 0.02%
Information Processing Society of Japan
2 цитирования, 0.02%
Lviv Polytechnic National University
2 цитирования, 0.02%
American Association of Physics Teachers (AAPT)
2 цитирования, 0.02%
National Academy of Sciences of Ukraine - Institute of Semiconductor Physics
2 цитирования, 0.02%
2 цитирования, 0.02%
Thomas Telford
2 цитирования, 0.02%
Brieflands
2 цитирования, 0.02%
American Society for Photogrammetry and Remote Sensing
1 цитирование, 0.01%
IOS Press
1 цитирование, 0.01%
Ovid Technologies (Wolters Kluwer Health)
1 цитирование, 0.01%
1 цитирование, 0.01%
Begell House
1 цитирование, 0.01%
Georg Thieme Verlag KG
1 цитирование, 0.01%
American Society for Microbiology
1 цитирование, 0.01%
Image Processing Systems Institute of RAS
1 цитирование, 0.01%
MIT Press
1 цитирование, 0.01%
Ivanovo State University of Chemistry and Technology
1 цитирование, 0.01%
Korean Society of Industrial Engineering Chemistry
1 цитирование, 0.01%
Acoustical Society of America (ASA)
1 цитирование, 0.01%
The Company of Biologists
1 цитирование, 0.01%
Pensoft Publishers
1 цитирование, 0.01%
Instrument Society of America
1 цитирование, 0.01%
Journal of Neurosurgery Publishing Group (JNSPG)
1 цитирование, 0.01%
Crop Science Society of Japan
1 цитирование, 0.01%
Nonferrous Metals Society of China
1 цитирование, 0.01%
Academic Publishing Limited
1 цитирование, 0.01%
Electromagnetics Academy
1 цитирование, 0.01%
Japanese Society for Medical and Biological Engineering
1 цитирование, 0.01%
500
1000
1500
2000
2500

Публикующиеся организации

5
10
15
20
25
30
35
40
45
Тайваньская компания по производству полупроводников
42 публикации, 2.52%
Международный микроэлектронный научно-исследовательский центр
33 публикации, 1.98%
Национальный институт стандартов и технологий
22 публикации, 1.32%
Институт Пауля Шеррера
20 публикаций, 1.2%
Техасский университет в Остине
20 публикаций, 1.2%
Национальная лаборатория имени Лоуренса в Беркли
15 публикаций, 0.9%
Лёвенский католический университет
13 публикаций, 0.78%
Samsung
12 публикаций, 0.72%
Институт микроэлектроники, Китайская академия наук
11 публикаций, 0.66%
Центральный научно-исследовательский институт электроники
10 публикаций, 0.6%
Даляньский технологический университет
10 публикаций, 0.6%
Институт Фраунгофера по интегрированным системам и технологиям устройств
10 публикаций, 0.6%
Toshiba Corporation
10 публикаций, 0.6%
Шанхайский институт оптики и точной механики, Китайская академия наук
10 публикаций, 0.6%
Национальный университет Цинхуа
9 публикаций, 0.54%
Технологический институт Джорджии
9 публикаций, 0.54%
Политехнический институт Государственного университета Нью-Йорка
9 публикаций, 0.54%
Университет Китайской академии наук
8 публикаций, 0.48%
Национальный университет Ченг Кунг
8 публикаций, 0.48%
Техасский университет A&M
8 публикаций, 0.48%
Федеральная политехническая школа Лозанны
7 публикаций, 0.42%
Делфтский технический университет
7 публикаций, 0.42%
Университет Ханьян
7 публикаций, 0.42%
Калифорнийский университет в Беркли
7 публикаций, 0.42%
Рочестерский технологический институт
7 публикаций, 0.42%
Пекинский технологический институт
6 публикаций, 0.36%
Университет Твенте
6 публикаций, 0.36%
Национальный университет Сунь Ятсена
6 публикаций, 0.36%
Национальный университет Тайваня
6 публикаций, 0.36%
Национальный центральный университет
6 публикаций, 0.36%
Китайский университет Гонконга
6 публикаций, 0.36%
Чикагский университет
6 публикаций, 0.36%
Осакский университет
6 публикаций, 0.36%
Хуачжунский университет науки и технологии
5 публикаций, 0.3%
Бирмингемский университет
5 публикаций, 0.3%
Национальный центр научных исследований «Демокрит»
5 публикаций, 0.3%
Иллинойсский университет в Урбане-Шампейне
5 публикаций, 0.3%
Институт прикладной оптики и точной инженерии им. Фраунгофера
5 публикаций, 0.3%
Университет штата Монтана
5 публикаций, 0.3%
Исследовательский центр Уотсона
5 публикаций, 0.3%
Индийский технологический институт в Мадрасе
4 публикации, 0.24%
Университет Цинхуа
4 публикации, 0.24%
Пекинский университет
4 публикации, 0.24%
Автономный университет Барселоны
4 публикации, 0.24%
Массачусетский технологический институт
4 публикации, 0.24%
Корнеллский университет
4 публикации, 0.24%
Стэнфордский университет
4 публикации, 0.24%
Университет Ёнсе
4 публикации, 0.24%
Йенский университет имени Фридриха Шиллера
4 публикации, 0.24%
Университет Тохоку
4 публикации, 0.24%
Технический университет Ильменау
4 публикации, 0.24%
Токийский университет
4 публикации, 0.24%
Институт микроэлектроники Барселоны
4 публикации, 0.24%
Университет имени Бригама Янга
4 публикации, 0.24%
Институт физики микроструктур РАН
3 публикации, 0.18%
Индийский научный институт
3 публикации, 0.18%
Тебризский университет
3 публикации, 0.18%
Индийский институт технологии в Харагпуре
3 публикации, 0.18%
Фуданьский университет
3 публикации, 0.18%
Технологический институт Карлсруэ
3 публикации, 0.18%
Университет Гренобль-Альпы
3 публикации, 0.18%
Технический научный центр Финляндии
3 публикации, 0.18%
Университет Фэн Цзя
3 публикации, 0.18%
Аргоннская национальная лаборатория
3 публикации, 0.18%
Бостонский университет
3 публикации, 0.18%
Национальный институт передовых промышленных наук и технологий
3 публикации, 0.18%
Оборонный научно-технический университет Народно-освободительной армии Китая
3 публикации, 0.18%
Институт лазерной техники им. Фраунгофера
3 публикации, 0.18%
Рейнско-Вестфальский технический университет Ахена
3 публикации, 0.18%
Фрайбургский университет имени Альберта и Людвига
3 публикации, 0.18%
Университет Эрлангена — Нюрнберга
3 публикации, 0.18%
Лейденский университет
3 публикации, 0.18%
Физико-технический федеральный институт
3 публикации, 0.18%
Штутгартский университет
3 публикации, 0.18%
Университет Висконсин в Мадисоне
3 публикации, 0.18%
Университет Васэда
3 публикации, 0.18%
Университет Айн-Шамс
3 публикации, 0.18%
Koninklijke Philips N.V. (Филипс)
3 публикации, 0.18%
Пенсильванский университет
3 публикации, 0.18%
Университет Альберты
3 публикации, 0.18%
Университет Манитобы
3 публикации, 0.18%
Институт Нееля
3 публикации, 0.18%
Дейтонский университет
3 публикации, 0.18%
Университет Олбани, Государственный университет Нью-Йорка
3 публикации, 0.18%
Научно-технологический университет имени короля Абдаллы
2 публикации, 0.12%
Технологический университет имени Шарифа
2 публикации, 0.12%
Индийский институт технологии в Канпуре
2 публикации, 0.12%
Индийский институт технологии в Гандинагаре
2 публикации, 0.12%
Малавийский национальный технологический институт в Джайпуре
2 публикации, 0.12%
Шанхайский университет Цзяотун
2 публикации, 0.12%
Харбинский политехнический университет
2 публикации, 0.12%
Университет им. Бен-Гуриона
2 публикации, 0.12%
Университет электронных наук и технологий Китая
2 публикации, 0.12%
Научный Университет Малайзии
2 публикации, 0.12%
Индийская организация космических исследований
2 публикации, 0.12%
Университет Курукшетра
2 публикации, 0.12%
Юго-Восточный университет
2 публикации, 0.12%
Швейцарская высшая техническая школа Цюриха
2 публикации, 0.12%
Университет Нового Южного Уэльса
2 публикации, 0.12%
Северный университет Китая
2 публикации, 0.12%
5
10
15
20
25
30
35
40
45

Публикующиеся страны

50
100
150
200
250
300
350
400
США, 364, 21.88%
США
364 публикации, 21.88%
Китай, 179, 10.76%
Китай
179 публикаций, 10.76%
Япония, 95, 5.71%
Япония
95 публикаций, 5.71%
Германия, 76, 4.57%
Германия
76 публикаций, 4.57%
Бельгия, 43, 2.58%
Бельгия
43 публикации, 2.58%
Нидерланды, 42, 2.52%
Нидерланды
42 публикации, 2.52%
Республика Корея, 40, 2.4%
Республика Корея
40 публикаций, 2.4%
Индия, 34, 2.04%
Индия
34 публикации, 2.04%
Швейцария, 33, 1.98%
Швейцария
33 публикации, 1.98%
Франция, 23, 1.38%
Франция
23 публикации, 1.38%
Израиль, 15, 0.9%
Израиль
15 публикаций, 0.9%
Канада, 13, 0.78%
Канада
13 публикаций, 0.78%
Иран, 10, 0.6%
Иран
10 публикаций, 0.6%
Россия, 9, 0.54%
Россия
9 публикаций, 0.54%
Великобритания, 9, 0.54%
Великобритания
9 публикаций, 0.54%
Испания, 7, 0.42%
Испания
7 публикаций, 0.42%
Греция, 6, 0.36%
Греция
6 публикаций, 0.36%
Египет, 6, 0.36%
Египет
6 публикаций, 0.36%
Италия, 5, 0.3%
Италия
5 публикаций, 0.3%
Малайзия, 5, 0.3%
Малайзия
5 публикаций, 0.3%
Австралия, 4, 0.24%
Австралия
4 публикации, 0.24%
Австрия, 4, 0.24%
Австрия
4 публикации, 0.24%
Ирландия, 4, 0.24%
Ирландия
4 публикации, 0.24%
Мексика, 4, 0.24%
Мексика
4 публикации, 0.24%
Сингапур, 4, 0.24%
Сингапур
4 публикации, 0.24%
Финляндия, 4, 0.24%
Финляндия
4 публикации, 0.24%
Бразилия, 3, 0.18%
Бразилия
3 публикации, 0.18%
Новая Зеландия, 2, 0.12%
Новая Зеландия
2 публикации, 0.12%
ОАЭ, 2, 0.12%
ОАЭ
2 публикации, 0.12%
Румыния, 2, 0.12%
Румыния
2 публикации, 0.12%
Саудовская Аравия, 2, 0.12%
Саудовская Аравия
2 публикации, 0.12%
Армения, 1, 0.06%
Армения
1 публикация, 0.06%
Дания, 1, 0.06%
Дания
1 публикация, 0.06%
Ирак, 1, 0.06%
Ирак
1 публикация, 0.06%
Колумбия, 1, 0.06%
Колумбия
1 публикация, 0.06%
Латвия, 1, 0.06%
Латвия
1 публикация, 0.06%
Литва, 1, 0.06%
Литва
1 публикация, 0.06%
Норвегия, 1, 0.06%
Норвегия
1 публикация, 0.06%
Пакистан, 1, 0.06%
Пакистан
1 публикация, 0.06%
Польша, 1, 0.06%
Польша
1 публикация, 0.06%
Таиланд, 1, 0.06%
Таиланд
1 публикация, 0.06%
Турция, 1, 0.06%
Турция
1 публикация, 0.06%
Чехия, 1, 0.06%
Чехия
1 публикация, 0.06%
Швеция, 1, 0.06%
Швеция
1 публикация, 0.06%
ЮАР, 1, 0.06%
ЮАР
1 публикация, 0.06%
50
100
150
200
250
300
350
400