Journal of Micro/ Nanolithography, MEMS, and MOEMS

SPIE-Intl Soc Optical Eng
SPIE-Intl Soc Optical Eng
ISSN: 19325150, 19325134

Вы ученый?

Создайте профиль, чтобы получать персональные рекомендации коллег, конференций и новых статей.
 Войти с ORCID
Impact factor
2.3
SJR
0.393
CiteScore
3.4
Предметные категории
Mechanical Engineering
Atomic and Molecular Physics, and Optics
Condensed Matter Physics
Electrical and Electronic Engineering
Electronic, Optical and Magnetic Materials
Nanoscience and Nanotechnology
Предметные области
Engineering
Materials Science
Physics and Astronomy
Годы выпуска
2007-2023
Варианты названий
Journal of Micro/ Nanolithography, MEMS, and MOEMS
Публикаций
1 664
Цитирований
13 308
Индекс Хирша
41
Публикаций
0
Цитирований
4 626
Топ-3 цитирующих журналов
Optics Express
Optics Express (417 цитирований)
Топ-3 стран
США (364 публикации)
Китай (179 публикаций)
Япония (95 публикаций)

Наиболее цитируемые за 5 лет

Топ-100

Цитирующие журналы

100
200
300
400
500
600
700
800
900
Journal of Micro/ Nanolithography, MEMS, and MOEMS
873 цитирования, 6.56%
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
823 цитирования, 6.18%
Optics Express
417 цитирований, 3.13%
Journal of Vacuum Science and Technology B
401 цитирование, 3.01%
Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers & Short Notes
301 цитирование, 2.26%
Applied Optics
244 цитирования, 1.83%
Micromachines
224 цитирования, 1.68%
Microelectronic Engineering
191 цитирование, 1.44%
Journal of Micromechanics and Microengineering
179 цитирований, 1.35%
Journal of Micro/Nanopatterning Materials and Metrology
174 цитирования, 1.31%
Journal of Photopolymer Science and Technology
165 цитирований, 1.24%
Journal of Applied Physics
156 цитирований, 1.17%
ACS applied materials & interfaces
150 цитирований, 1.13%
Measurement Science and Technology
123 цитирования, 0.92%
Nanotechnology
119 цитирований, 0.89%
Applied Physics Letters
118 цитирований, 0.89%
Journal of Microelectromechanical Systems
113 цитирований, 0.85%
IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems
104 цитирования, 0.78%
Sensors and Actuators, A: Physical
103 цитирования, 0.77%
Microsystem Technologies
93 цитирования, 0.7%
Sensors
89 цитирований, 0.67%
IEEE Sensors Journal
87 цитирований, 0.65%
Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena
74 цитирования, 0.56%
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
71 цитирование, 0.53%
Scientific Reports
67 цитирований, 0.5%
ACS Nano
63 цитирования, 0.47%
Journal of Materials Chemistry C
60 цитирований, 0.45%
Optical Engineering
57 цитирований, 0.43%
Optics Letters
55 цитирований, 0.41%
Applied Surface Science
55 цитирований, 0.41%
Applied Sciences (Switzerland)
55 цитирований, 0.41%
Chemistry of Materials
53 цитирования, 0.4%
AIP Advances
51 цитирование, 0.38%
Journal Physics D: Applied Physics
51 цитирование, 0.38%
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films
49 цитирований, 0.37%
Nanoscale
47 цитирований, 0.35%
Optics and Laser Technology
47 цитирований, 0.35%
Optics and Lasers in Engineering
47 цитирований, 0.35%
Optics Communications
46 цитирований, 0.35%
Macromolecules
45 цитирований, 0.34%
Nanomaterials
44 цитирования, 0.33%
Review of Scientific Instruments
44 цитирования, 0.33%
Advanced Functional Materials
42 цитирования, 0.32%
Photonics
41 цитирование, 0.31%
Journal of the Optical Society of America A: Optics and Image Science, and Vision
39 цитирований, 0.29%
Polymers
38 цитирований, 0.29%
Physical Chemistry Chemical Physics
37 цитирований, 0.28%
Micro and Nano Engineering
37 цитирований, 0.28%
Physics of Plasmas
37 цитирований, 0.28%
Frontiers of Nanoscience
37 цитирований, 0.28%
Advanced Materials
34 цитирования, 0.26%
Nano Letters
33 цитирования, 0.25%
IEEE Access
33 цитирования, 0.25%
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena
33 цитирования, 0.25%
Ultramicroscopy
30 цитирований, 0.23%
Advanced Optical Technologies
30 цитирований, 0.23%
Thin Solid Films
30 цитирований, 0.23%
Materials
30 цитирований, 0.23%
Lab on a Chip
29 цитирований, 0.22%
Microsystems and Nanoengineering
29 цитирований, 0.22%
Langmuir
29 цитирований, 0.22%
Measurement: Journal of the International Measurement Confederation
28 цитирований, 0.21%
Acta Physica Sinica
28 цитирований, 0.21%
Journal of Optics (United Kingdom)
28 цитирований, 0.21%
IEEE Transactions on Electron Devices
28 цитирований, 0.21%
Applied Physics Express
26 цитирований, 0.2%
RSC Advances
24 цитирования, 0.18%
Smart Materials and Structures
24 цитирования, 0.18%
Chemical Reviews
24 цитирования, 0.18%
Small
23 цитирования, 0.17%
ACS Omega
23 цитирования, 0.17%
Sensors and Actuators, B: Chemical
23 цитирования, 0.17%
IEEE Transactions on Nanotechnology
22 цитирования, 0.17%
Journal of Physics: Conference Series
22 цитирования, 0.17%
Nature Electronics
22 цитирования, 0.17%
IEEE Photonics Journal
22 цитирования, 0.17%
Russian Microelectronics
22 цитирования, 0.17%
Journal of Physical Chemistry C
21 цитирование, 0.16%
ECS Journal of Solid State Science and Technology
21 цитирование, 0.16%
IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement
21 цитирование, 0.16%
Precision Engineering
21 цитирование, 0.16%
Advanced Materials Technologies
19 цитирований, 0.14%
ACS Applied Nano Materials
19 цитирований, 0.14%
Advanced Optical Materials
19 цитирований, 0.14%
Nature Communications
19 цитирований, 0.14%
IEEE Photonics Technology Letters
19 цитирований, 0.14%
Vacuum
19 цитирований, 0.14%
Advanced Materials Research
19 цитирований, 0.14%
Microelectronics Reliability
18 цитирований, 0.14%
Microfluidics and Nanofluidics
18 цитирований, 0.14%
Applied Physics A: Materials Science and Processing
18 цитирований, 0.14%
Optik
18 цитирований, 0.14%
International Journal of Extreme Manufacturing
18 цитирований, 0.14%
Journal of Applied Crystallography
17 цитирований, 0.13%
Advanced Materials Interfaces
17 цитирований, 0.13%
Journal of the Optical Society of America B: Optical Physics
17 цитирований, 0.13%
Materials Science in Semiconductor Processing
16 цитирований, 0.12%
International Journal of Advanced Manufacturing Technology
16 цитирований, 0.12%
IEEE TRANSACTIONS ON COMPUTATIONAL IMAGING
16 цитирований, 0.12%
Micro and Nano Letters
15 цитирований, 0.11%
100
200
300
400
500
600
700
800
900

Цитирующие издатели

500
1000
1500
2000
2500
SPIE-Intl Soc Optical Eng
2215 цитирований, 16.64%
Elsevier
1521 цитирование, 11.43%
Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
1372 цитирования, 10.31%
Springer Nature
848 цитирований, 6.37%
Optica Publishing Group
841 цитирование, 6.32%
IOP Publishing
775 цитирований, 5.82%
MDPI
636 цитирований, 4.78%
American Chemical Society (ACS)
607 цитирований, 4.56%
American Vacuum Society
550 цитирований, 4.13%
AIP Publishing
485 цитирований, 3.64%
Wiley
484 цитирования, 3.64%
Royal Society of Chemistry (RSC)
311 цитирований, 2.34%
Japan Society of Applied Physics
301 цитирование, 2.26%
The Technical Association of Photopolymers, Japan
151 цитирование, 1.13%
Taylor & Francis
98 цитирований, 0.74%
Pleiades Publishing
82 цитирования, 0.62%
Association for Computing Machinery (ACM)
77 цитирований, 0.58%
De Gruyter Brill
65 цитирований, 0.49%
American Physical Society (APS)
54 цитирования, 0.41%
Trans Tech Publications
46 цитирований, 0.35%
ASME International
34 цитирования, 0.26%
Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics
34 цитирования, 0.26%
Hindawi Limited
33 цитирования, 0.25%
The Electrochemical Society
31 цитирование, 0.23%
Frontiers Media S.A.
29 цитирований, 0.22%
Oxford University Press
28 цитирований, 0.21%
Acta Physica Sinica, Chinese Physical Society and Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences
28 цитирований, 0.21%
Cambridge University Press
24 цитирования, 0.18%
Institution of Engineering and Technology (IET)
23 цитирования, 0.17%
SAGE
22 цитирования, 0.17%
International Union of Crystallography (IUCr)
21 цитирование, 0.16%
World Scientific
17 цитирований, 0.13%
American Association for the Advancement of Science (AAAS)
17 цитирований, 0.13%
16 цитирований, 0.12%
Science in China Press
15 цитирований, 0.11%
IntechOpen
15 цитирований, 0.11%
openRxiv
14 цитирований, 0.11%
Beilstein-Institut
13 цитирований, 0.1%
Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)
13 цитирований, 0.1%
Emerald
11 цитирований, 0.08%
Zhejiang University Press
11 цитирований, 0.08%
Annual Reviews
10 цитирований, 0.08%
The Russian Academy of Sciences
8 цитирований, 0.06%
Korean Society of Mechanical Engineers
7 цитирований, 0.05%
The Royal Society
7 цитирований, 0.05%
Public Library of Science (PLoS)
7 цитирований, 0.05%
Cold Spring Harbor Laboratory
7 цитирований, 0.05%
IGI Global
7 цитирований, 0.05%
EDP Sciences
6 цитирований, 0.05%
Japan Society of Mechanical Engineers
6 цитирований, 0.05%
Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences
6 цитирований, 0.05%
The Korean Society of Precision Engineering
6 цитирований, 0.05%
Institute of Electronics, Information and Communications Engineers (IEICE)
6 цитирований, 0.05%
Opto-Electronic Advances
5 цитирований, 0.04%
Keldysh Institute of Applied Mathematics
5 цитирований, 0.04%
Bentham Science Publishers Ltd.
4 цитирования, 0.03%
4 цитирования, 0.03%
Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)
4 цитирования, 0.03%
Laser Institute of America
4 цитирования, 0.03%
Tsinghua University Press
4 цитирования, 0.03%
Optical Society of India
4 цитирования, 0.03%
Uspekhi Fizicheskikh Nauk Journal
4 цитирования, 0.03%
Akademizdatcenter Nauka
4 цитирования, 0.03%
Japan Institute of Electronics Packaging
4 цитирования, 0.03%
Mary Ann Liebert
3 цитирования, 0.02%
Fuji Technology Press
3 цитирования, 0.02%
The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
3 цитирования, 0.02%
Brieflands
3 цитирования, 0.02%
Hans Publishers
3 цитирования, 0.02%
The Japan Society for Precision Engineering
3 цитирования, 0.02%
Proceedings of the National Academy of Sciences (PNAS)
2 цитирования, 0.02%
American Institute of Mathematical Sciences (AIMS)
2 цитирования, 0.02%
American Institute of Aeronautics and Astronautics (AIAA)
2 цитирования, 0.02%
Federal Informational-Analytical Center of the Defense Industry
2 цитирования, 0.02%
Information Processing Society of Japan
2 цитирования, 0.02%
Lviv Polytechnic National University
2 цитирования, 0.02%
Copernicus
2 цитирования, 0.02%
American Association of Physics Teachers (AAPT)
2 цитирования, 0.02%
National Academy of Sciences of Ukraine - Institute of Semiconductor Physics
2 цитирования, 0.02%
2 цитирования, 0.02%
Thomas Telford
2 цитирования, 0.02%
Cellule MathDoc/Centre Mersenne
2 цитирования, 0.02%
American Society for Photogrammetry and Remote Sensing
1 цитирование, 0.01%
IOS Press
1 цитирование, 0.01%
Ovid Technologies (Wolters Kluwer Health)
1 цитирование, 0.01%
Begell House
1 цитирование, 0.01%
Georg Thieme Verlag KG
1 цитирование, 0.01%
American Society for Microbiology
1 цитирование, 0.01%
Image Processing Systems Institute of RAS
1 цитирование, 0.01%
MIT Press
1 цитирование, 0.01%
Ivanovo State University of Chemistry and Technology
1 цитирование, 0.01%
Korean Society of Industrial Engineering Chemistry
1 цитирование, 0.01%
Acoustical Society of America (ASA)
1 цитирование, 0.01%
The Company of Biologists
1 цитирование, 0.01%
Pensoft Publishers
1 цитирование, 0.01%
Instrument Society of America
1 цитирование, 0.01%
Journal of Neurosurgery Publishing Group (JNSPG)
1 цитирование, 0.01%
Crop Science Society of Japan
1 цитирование, 0.01%
Nonferrous Metals Society of China
1 цитирование, 0.01%
Academic Publishing Limited
1 цитирование, 0.01%
500
1000
1500
2000
2500

Публикующиеся организации

5
10
15
20
25
30
35
40
45
Тайваньская компания по производству полупроводников
42 публикации, 2.52%
Международный микроэлектронный научно-исследовательский центр
33 публикации, 1.98%
Национальный институт стандартов и технологий
22 публикации, 1.32%
Институт Пауля Шеррера
20 публикаций, 1.2%
Техасский университет в Остине
20 публикаций, 1.2%
Национальная лаборатория имени Лоуренса в Беркли
15 публикаций, 0.9%
Лёвенский католический университет
13 публикаций, 0.78%
Samsung
12 публикаций, 0.72%
Институт микроэлектроники, Китайская академия наук
11 публикаций, 0.66%
Центральный научно-исследовательский институт электроники
10 публикаций, 0.6%
Даляньский технологический университет
10 публикаций, 0.6%
Институт Фраунгофера по интегрированным системам и технологиям устройств
10 публикаций, 0.6%
Toshiba Corporation
10 публикаций, 0.6%
Шанхайский институт оптики и точной механики, Китайская академия наук
10 публикаций, 0.6%
Национальный университет Цинхуа
9 публикаций, 0.54%
Технологический институт Джорджии
9 публикаций, 0.54%
Политехнический институт Государственного университета Нью-Йорка
9 публикаций, 0.54%
Университет Китайской академии наук
8 публикаций, 0.48%
Национальный университет Ченг Кунг
8 публикаций, 0.48%
Техасский университет A&M
8 публикаций, 0.48%
Федеральная политехническая школа Лозанны
7 публикаций, 0.42%
Делфтский технический университет
7 публикаций, 0.42%
Университет Ханьян
7 публикаций, 0.42%
Калифорнийский университет в Беркли
7 публикаций, 0.42%
Рочестерский технологический институт
7 публикаций, 0.42%
Пекинский технологический институт
6 публикаций, 0.36%
Университет Твенте
6 публикаций, 0.36%
Национальный университет Сунь Ятсена
6 публикаций, 0.36%
Национальный университет Тайваня
6 публикаций, 0.36%
Национальный центральный университет
6 публикаций, 0.36%
Китайский университет Гонконга
6 публикаций, 0.36%
Чикагский университет
6 публикаций, 0.36%
Осакский университет
6 публикаций, 0.36%
Хуачжунский университет науки и технологии
5 публикаций, 0.3%
Бирмингемский университет
5 публикаций, 0.3%
Национальный центр научных исследований «Демокрит»
5 публикаций, 0.3%
Иллинойсский университет в Урбане-Шампейне
5 публикаций, 0.3%
Институт прикладной оптики и точной инженерии им. Фраунгофера
5 публикаций, 0.3%
Университет штата Монтана
5 публикаций, 0.3%
Исследовательский центр Уотсона
5 публикаций, 0.3%
Академия научных и инновационных исследований
5 публикаций, 0.3%
Индийский технологический институт в Мадрасе
4 публикации, 0.24%
Университет Цинхуа
4 публикации, 0.24%
Пекинский университет
4 публикации, 0.24%
Автономный университет Барселоны
4 публикации, 0.24%
Массачусетский технологический институт
4 публикации, 0.24%
Корнеллский университет
4 публикации, 0.24%
Стэнфордский университет
4 публикации, 0.24%
Университет Ёнсе
4 публикации, 0.24%
Йенский университет имени Фридриха Шиллера
4 публикации, 0.24%
Университет Тохоку
4 публикации, 0.24%
Технический университет Ильменау
4 публикации, 0.24%
Токийский университет
4 публикации, 0.24%
Институт микроэлектроники Барселоны
4 публикации, 0.24%
Университет имени Бригама Янга
4 публикации, 0.24%
Институт физики микроструктур РАН
3 публикации, 0.18%
Индийский научный институт
3 публикации, 0.18%
Тебризский университет
3 публикации, 0.18%
Индийский институт технологии в Харагпуре
3 публикации, 0.18%
Фуданьский университет
3 публикации, 0.18%
Технологический институт Карлсруэ
3 публикации, 0.18%
Университет Гренобль-Альпы
3 публикации, 0.18%
Технический научный центр Финляндии
3 публикации, 0.18%
Университет Фэн Цзя
3 публикации, 0.18%
Аргоннская национальная лаборатория
3 публикации, 0.18%
Бостонский университет
3 публикации, 0.18%
Национальный институт передовых промышленных наук и технологий
3 публикации, 0.18%
Оборонный научно-технический университет Народно-освободительной армии Китая
3 публикации, 0.18%
Институт лазерной техники им. Фраунгофера
3 публикации, 0.18%
Рейнско-Вестфальский технический университет Ахена
3 публикации, 0.18%
Фрайбургский университет имени Альберта и Людвига
3 публикации, 0.18%
Университет Эрлангена — Нюрнберга
3 публикации, 0.18%
Лейденский университет
3 публикации, 0.18%
Физико-технический федеральный институт
3 публикации, 0.18%
Штутгартский университет
3 публикации, 0.18%
Университет Висконсин в Мадисоне
3 публикации, 0.18%
Университет Васэда
3 публикации, 0.18%
Университет Айн-Шамс
3 публикации, 0.18%
Koninklijke Philips N.V. (Филипс)
3 публикации, 0.18%
Пенсильванский университет
3 публикации, 0.18%
Университет Альберты
3 публикации, 0.18%
Университет Манитобы
3 публикации, 0.18%
Институт Нееля
3 публикации, 0.18%
Дейтонский университет
3 публикации, 0.18%
Университет Олбани, Государственный университет Нью-Йорка
3 публикации, 0.18%
Научно-технологический университет имени короля Абдаллы
2 публикации, 0.12%
Технологический университет имени Шарифа
2 публикации, 0.12%
Индийский институт технологии в Канпуре
2 публикации, 0.12%
Индийский институт технологии в Гандинагаре
2 публикации, 0.12%
Малавийский национальный технологический институт в Джайпуре
2 публикации, 0.12%
Шанхайский университет Цзяотун
2 публикации, 0.12%
Харбинский политехнический университет
2 публикации, 0.12%
Университет им. Бен-Гуриона
2 публикации, 0.12%
Университет электронных наук и технологий Китая
2 публикации, 0.12%
Научный Университет Малайзии
2 публикации, 0.12%
Индийская организация космических исследований
2 публикации, 0.12%
Университет Курукшетра
2 публикации, 0.12%
Юго-Восточный университет
2 публикации, 0.12%
Швейцарская высшая техническая школа Цюриха
2 публикации, 0.12%
Университет Нового Южного Уэльса
2 публикации, 0.12%
5
10
15
20
25
30
35
40
45

Публикующиеся страны

50
100
150
200
250
300
350
400
США, 364, 21.88%
США
364 публикации, 21.88%
Китай, 179, 10.76%
Китай
179 публикаций, 10.76%
Япония, 95, 5.71%
Япония
95 публикаций, 5.71%
Германия, 76, 4.57%
Германия
76 публикаций, 4.57%
Бельгия, 43, 2.58%
Бельгия
43 публикации, 2.58%
Нидерланды, 42, 2.52%
Нидерланды
42 публикации, 2.52%
Республика Корея, 40, 2.4%
Республика Корея
40 публикаций, 2.4%
Индия, 34, 2.04%
Индия
34 публикации, 2.04%
Швейцария, 33, 1.98%
Швейцария
33 публикации, 1.98%
Франция, 23, 1.38%
Франция
23 публикации, 1.38%
Израиль, 15, 0.9%
Израиль
15 публикаций, 0.9%
Канада, 13, 0.78%
Канада
13 публикаций, 0.78%
Иран, 10, 0.6%
Иран
10 публикаций, 0.6%
Россия, 9, 0.54%
Россия
9 публикаций, 0.54%
Великобритания, 9, 0.54%
Великобритания
9 публикаций, 0.54%
Испания, 7, 0.42%
Испания
7 публикаций, 0.42%
Греция, 6, 0.36%
Греция
6 публикаций, 0.36%
Египет, 6, 0.36%
Египет
6 публикаций, 0.36%
Италия, 5, 0.3%
Италия
5 публикаций, 0.3%
Малайзия, 5, 0.3%
Малайзия
5 публикаций, 0.3%
Австралия, 4, 0.24%
Австралия
4 публикации, 0.24%
Австрия, 4, 0.24%
Австрия
4 публикации, 0.24%
Ирландия, 4, 0.24%
Ирландия
4 публикации, 0.24%
Мексика, 4, 0.24%
Мексика
4 публикации, 0.24%
Сингапур, 4, 0.24%
Сингапур
4 публикации, 0.24%
Финляндия, 4, 0.24%
Финляндия
4 публикации, 0.24%
Бразилия, 3, 0.18%
Бразилия
3 публикации, 0.18%
Новая Зеландия, 2, 0.12%
Новая Зеландия
2 публикации, 0.12%
ОАЭ, 2, 0.12%
ОАЭ
2 публикации, 0.12%
Румыния, 2, 0.12%
Румыния
2 публикации, 0.12%
Саудовская Аравия, 2, 0.12%
Саудовская Аравия
2 публикации, 0.12%
Армения, 1, 0.06%
Армения
1 публикация, 0.06%
Дания, 1, 0.06%
Дания
1 публикация, 0.06%
Ирак, 1, 0.06%
Ирак
1 публикация, 0.06%
Колумбия, 1, 0.06%
Колумбия
1 публикация, 0.06%
Латвия, 1, 0.06%
Латвия
1 публикация, 0.06%
Литва, 1, 0.06%
Литва
1 публикация, 0.06%
Норвегия, 1, 0.06%
Норвегия
1 публикация, 0.06%
Пакистан, 1, 0.06%
Пакистан
1 публикация, 0.06%
Польша, 1, 0.06%
Польша
1 публикация, 0.06%
Таиланд, 1, 0.06%
Таиланд
1 публикация, 0.06%
Турция, 1, 0.06%
Турция
1 публикация, 0.06%
Чехия, 1, 0.06%
Чехия
1 публикация, 0.06%
Швеция, 1, 0.06%
Швеция
1 публикация, 0.06%
ЮАР, 1, 0.06%
ЮАР
1 публикация, 0.06%
50
100
150
200
250
300
350
400